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RESA为一体式不锈钢圆栅,其柱面上直接刻有绝对式栅尺编码刻线。两种型号有多种尺寸可供选择(直径52 mm到550 mm)。
支持19bit高精度分辨率,大中空设计
重型空气轴承旋转平台,这种坚固耐用的重型旋转台通过其直接驱动集成而在同类产品中独树一帜,并具有异常低的误差运动,从而
The perfect solution for: Roundness measurements systems Micro- and nano-tomography Ultra-precision
转台尺寸:外径65mm,厚度22mm,重复定位精度±2 角秒 直线台尺寸:65*65*15mm,重复精度+-0.5um
Planar HDX使用碳化硅陶瓷作为气浮导轨基体材料,采用线性放大器和无铁芯直线电机作为驱动,高精度光栅尺或激光干涉仪作为
气浮直线平台由直线电机直接驱动,采用盒式全封闭型气浮导轨,在导轨的四个方向都提供预载力。这种结构设计配合微米级的气
气浮转台的结构经过特别优化,具有大的空气承载表面,提供极高的刚度和负载能力,不仅具有极小的轴向和径向运动误差,还有
机械导轨系统坚固稳定,使用长寿命的滚珠导轨和低摩擦密封装置,适用于实验室环境和一般工业环境。平台采用无铁芯直线电机
机械轴承转台使用大直径双轴承提高角摆、力矩刚度和重复性的性能,能够承受更大的负载。转台内置直接驱动无槽无刷力矩电