Planar HDX龙门式碳化硅基体
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Planar HDX龙门式碳化硅基体

Planar HDX使用碳化硅陶瓷作为气浮导轨基体材料，采用线性放大器和无铁芯直线电机作为驱动，高精度光栅尺或激光干涉仪作为
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