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低膨胀增量式铟钢直线光栅尺
用ZeroMet™(一种低膨胀镍/铁合金)制造的铟钢栅尺,具有20 µm栅距的增量式刻线。它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美,在1.5
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